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        長治高新區“深紫外LED量產型MOCVD裝備研發項目”中榜山西省“揭榜掛帥”項目

        放大字體  縮小字體 發布日期:2023-01-31 瀏覽次數:279

         近日,省科技廳發布《2022年度山西省科技重大專項計劃“揭榜掛帥”項目成功揭榜公告》,山西中科潞安紫外光電科技有限公司申報的“深紫外LED量產型金屬有機化合物氣相沉積(MOCVD)裝備研發”項目成功中榜,揭榜單位包括中國科學院半導體研究所和長治學院。該項目將獲得財政專項經費900萬元。這是長治高新區深入實施創新驅動發展戰略,積極開展前瞻性、引領性科學技術研究和關鍵共性技術攻關的又一重要成果。

        該項目投資總經費3000萬元,將研制出具有自主知識產權的量產型高溫MOCVD裝備,其硬件及材料、器件性能可達到國際領先水平。該項目的實施,將填補專用于深紫外LED量產型MOCVD裝備(一次生長20片以上2英寸外延片)的世界空白,突破制約深紫外LED發展的最大瓶頸,有效支撐和延伸我省第三代半導體產業鏈,為全市經濟高質量發展注入活力。

        (來源:長治國家高新區)
         
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